半导体器件专用设备、集成电路装备、集成电路、泵、阀门、压缩机及类似机械、胶粘材料、电子元器件与机电组件设备制造；半导体设备、电子产品、计算机软件、单晶材料、单晶抛光片及相关半导体材料和超纯元素的研发和销售；半导体设备安装；半导体设备调试；半

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